露點(diǎn)儀是一種常用于手套箱的分析儀器,它可以用于測(cè)量手套箱內(nèi)的濕度或露點(diǎn)。露點(diǎn)儀適合測(cè)量各種氣體的露點(diǎn)溫度,包括空氣、氮?dú)狻⒀鯕狻錃狻⒍趸嫉取?/span>
露點(diǎn)溫度是指空氣溫度下降到該溫度后,空氣中的水分達(dá)到飽和時(shí),空氣中的水分就會(huì)凝結(jié)成水滴。露點(diǎn)溫度越低,空氣中的水分就越少。
在手套箱中,露點(diǎn)溫度是指假設(shè)手套箱內(nèi)部的溫度下降到該溫度,手套箱內(nèi)部的濕度將達(dá)到飽和時(shí),手套箱內(nèi)部的水分就會(huì)凝結(jié)成水滴。如果手套箱內(nèi)部的露點(diǎn)溫度過高,就意味著手套箱內(nèi)部的水分含量較多,從而影響實(shí)驗(yàn)操作的環(huán)境干燥性。
高可靠性的半導(dǎo)體封裝需要在相對(duì)干燥的環(huán)境下進(jìn)行,以保證封裝質(zhì)量。當(dāng)使用惰性氣體手套箱進(jìn)行半導(dǎo)體封裝時(shí),控制好手套箱內(nèi)部的露點(diǎn)溫度可以避免手套箱內(nèi)部的水分含量過高,從而保證手套箱內(nèi)部的干燥環(huán)境。在過高的露點(diǎn)溫度下進(jìn)行半導(dǎo)體器件的氣密性封裝,會(huì)導(dǎo)致密閉器件內(nèi)部的氣氛水汽含量過高。那樣的話,當(dāng)工作環(huán)境溫度很低時(shí),該器件內(nèi)部就可能產(chǎn)生水滴凝結(jié),這將直接導(dǎo)致器件工作失效,造成電子系統(tǒng)損壞。